金融界2024年10月30日消息，国家知识产权局信息显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请一项名为“一种EPI工艺的集成式废气处理设备及系统”的专利，公开号 CN 118831412 A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请涉及一种EPI工艺的集成式废气处理设备及系统。该设备包括第一真空泵、第一控制阀、第一前级管路、第一废气处理器、第一备用管路以及第一控制器。该第一控制阀包括输入端、第一输出端和第二输出端。第一真空泵连接废气产生设备。第一控制阀的输入端与第一真空泵连接。第一前级管路一端连接第一输出端，第一前级管路的另一端连接第一废气处理器。第一废气处理器处理经第一前级管路传输的废气。第一备用管路与第二输出端连接。第一控制器检测第一废气处理器与第一真空泵的状态。在第一废气处理器处于故障状态，且第一真空泵处于正常状态情况下控制第一废气处理器停止运行，并控制输入端与第一输出端截止，以及控制输入端与第二输出端连通。